“我们的问题不仅仅是找不到,而是有些问题即便找到了,也没有办法解决。”
会议只是开始,会后,翟竖与沪州微电子的工程师们一同探讨着某些问题。
虽然工程师们也没有寄希望于翟竖能够解决,但既然翟竖问道了,他们也就如实回答了,根据最新的授权,除非绝密级,其他的东西可以对翟竖不设防。
“嗯。”
翟竖看着刚刚工程师们提出的一个问题,脑子里也在飞速的转圈,他在思考芯片生产过程中的一些细节。
既然同样的设备有一个能够达到一定的实验室良好水平,那说明元器件本身是有这个能力的,之所以良率差,肯定是工艺细节方面的原因。
“掩膜版与晶圆的对准工艺...”翟竖嘟哝着。
“是,掩膜版与晶圆的对准至关重要,它将直接限制芯片的集成密度和电路的性能。”立即就有工程师接话:
“步进扫描投影光刻机在对准的过程中,晶圆片并不直接对准掩膜,而是圆片和掩膜经过各自的光路,对准于曝光系统的光学链上。
“而这两个过程的精准匹配非常重要,些微的系统误差对芯片的性能就会产生影响。”
另一名工程师点了点头,肯定道:“是这样的没错,现在就有一个巨大的问题,当光刻机光源大量的光穿过掩膜时,不可避免的会造成掩膜材料的发热。
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