“热胀冷缩，这对于任何材料来说都是一个无法避免的，即便是掩膜版采用了热膨胀系数极低的材料，在0.71度的温度变化下也会产生0.1微米的膨胀。
“可不要小看这0.1微米，就是它造成的掩膜版和晶圆片的对准精度误差，从而影响了之后的曝光精度和制程工艺。”
“不可以对膨胀产生的误差利用光源系统进行补偿性的调整吗？”翟竖脱口而出。
“想都别想，微米级别的精度误差，1以内的补偿，别说我们，全世界都做不到！一方面是监测难，另一个方面，电子曝光系统的控制也非常困难。而且，一个微小的变化可能就会诱发出更多问题，甚至整个系统就要重新调整。”
工程师们不约而同的摇了摇头，翟竖的这个想法理论上没有问题，但实际上根本行不通。
无论是对于微膨胀的监测还是对电子曝光系统的控制都不是现在的技术能够做到的。
“听你们说了这么多，都是系统方面的问题。如果控制系统能够达到这样的精度，是不是这种方案就是可行的？”
翟竖显得有些激动，亅语言啊，那就是个神，如果真的只仅仅是控制系统问题，那这问题亅语言就能解决啊！
工程师们看着翟竖的反应，虽然内心不认可，但心里也有一些意动，不管成不成的，那么多方案都尝试过了，也不差这一回。
立即就地比对材料、探索方案，跟工程师们一起探究了大半天。
结束的时候都已经半夜了，最后得出结论：理论上是没有问题的。
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