精度本身的控制,除了材料那就是控制系统了,从材料上来说,只要能精确监测工作温度的变化,根据材料本身的性质就能计算出它的膨胀程度。
光源再有针对性的进行补偿调整,理论上是可以做到。
但理论仅仅只是理论,哪怕是世界上最顶尖的控制系统现在也没办法精确的做到光源系统的实时曝光补偿。
这对于系统的运算能力和指令时延要求太高了——按照推算,监测系统、控制系统以及光源曝光系统三个系统处理整个监测、控制、行动的逻辑加起来不能超过1级别。
否则补偿就会失去意义,甚至会让整个系统变得更加糟糕!
而在沪州微电子的工程师眼里,这这根本就不可能。
“没有什么是不可能的!”翟竖笑了,这些东西交给亅语言,完全就不是问题:
“尽快把ssa800系列光刻机到位。这些天,我就先用现有的600系列做一个实验,你们等着验证就行!”
……
电子曝光系统的改造,补偿控制系统的开发,各类监测硬件驱动程序全部升级,这是翟竖最终确定的方案——全部使用亅语言,超时代的语言不管用到哪里,那都是碾压式的。
翟竖甚至可以说,只要不是硬件问题,所有的系统问题亅语言都可以更优秀,这是时代的差距。
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